如何正(zheng)確養護(hu)真空(kong)等(deng)離(li)子去膠(jiao)機

　　真空(kong)等(deng)離(li)子去膠(jiao)機作(zuo)為半導體(ti)制造、微電(dian)子封(feng)裝和(he)精密(mi)材(cai)料處理中(zhong)的關(guan)鍵(jian)設備(bei)，其(qi)穩(wen)定性(xing)和(he)工藝(yi)重復性(xing)直(zhi)接(jie)關(guan)系到產品的良(liang)率與(yu)成本。為確保設備(bei)長(chang)期處於最(zui)佳(jia)工作(zuo)狀態(tai)，延長(chang)其使(shi)用壽(shou)命(ming)，並(bing)保證工(gong)藝(yi)結(jie)果的穩定可靠，實(shi)施壹(yi)套(tao)科(ke)學(xue)、嚴謹(jin)的養護(hu)體(ti)系至關(guan)重要(yao)。以(yi)下將(jiang)從(cong)日常(chang)、定期(qi)、關(guan)鍵(jian)部件(jian)及(ji)長(chang)期停(ting)用(yong)四(si)個(ge)方面(mian)，詳(xiang)細(xi)闡(chan)述真空(kong)等(deng)離(li)子去膠(jiao)機的養護(hu)方式。

　　壹(yi)、 日常基(ji)礎(chu)養(yang)護(hu)：防患(huan)於未然

　　日(ri)常(chang)養護是維(wei)持(chi)設(she)備穩定性(xing)的第壹(yi)道防線(xian)，主(zhu)要(yao)由設備操作人(ren)員(yuan)在生(sheng)產間隙完(wan)成。

　　1.  清(qing)潔(jie)與目(mu)視檢(jian)查：

　　設備外(wai)部： 每(mei)日使(shi)用前後(hou)，用無(wu)塵(chen)布(bu)蘸取少量(liang)異(yi)丙醇(chun)(IPA)或(huo)去離(li)子水擦(ca)拭(shi)設備(bei)外(wai)表面(mian)、觀(guan)察(cha)窗(chuang)和(he)操作面(mian)板(ban)，去(qu)除(chu)灰(hui)塵(chen)和(he)汙(wu)漬(zi)，保持(chi)清(qing)潔(jie)。同(tong)時(shi)檢查設備外(wai)殼有(you)無(wu)明顯(xian)損傷(shang)、鎖(suo)緊裝置(zhi)是否(fou)正(zheng)常。

　　工(gong)藝腔(qiang)室門(men)密(mi)封(feng)圈(quan)： 在每(mei)次(ci)開(kai)腔門(men)前(qian)，檢(jian)查並(bing)清潔(jie)腔門(men)上的氟(fu)橡(xiang)膠或(huo)矽橡(xiang)膠密(mi)封(feng)圈(quan)。用無(wu)塵(chen)布(bu)蘸取IPA輕輕擦(ca)拭(shi)，去除(chu)其(qi)上的微小(xiao)顆粒(li)物，確保無(wu)殘留物、無(wu)破損或(huo)變形(xing)。良(liang)好(hao)的密(mi)封(feng)是維(wei)持(chi)高(gao)真空(kong)度的基礎(chu)。

　　2.  運行狀態(tai)監(jian)控：

　　真空(kong)系統： 記錄(lu)每次(ci)工(gong)藝(yi)的抽真空(kong)時(shi)間。若發現(xian)抽真空(kong)時(shi)間顯著延長(chang)，可能意(yi)味著(zhe)存在(zai)真空(kong)泄漏(lou)或(huo)機械泵性(xing)能(neng)下(xia)降(jiang)，需(xu)及(ji)時(shi)上報(bao)。

　　工(gong)藝(yi)參(can)數： 密(mi)切(qie)關(guan)註工藝過(guo)程中(zhong)的射(she)頻(pin)(RF)功(gong)率反(fan)射(she)、氣體(ti)流(liu)量(liang)、腔室(shi)壓(ya)力等(deng)關(guan)鍵(jian)參數是否(fou)穩(wen)定。異(yi)常的波動(dong)往往是部(bu)件老化(hua)的前兆。

　　冷(leng)卻系統： 檢查(zha)冷(leng)卻水(shui)循(xun)環(huan)系統的壓(ya)力表和(he)流(liu)量(liang)計，確保數值(zhi)在(zai)正(zheng)常範(fan)圍內(nei)，並(bing)觸摸(mo)確認水(shui)管無(wu)異(yi)常升溫，保證射(she)頻(pin)源(yuan)和(he)腔室(shi)的有效(xiao)散(san)熱。

　　二(er)、 定期(qi)預防性(xing)維(wei)護(hu)：系統性(xing)的健(jian)康(kang)檢(jian)查(zha)

　　定期(qi)維(wei)護(hu)需由(you)專業的維(wei)護(hu)工程(cheng)師根(gen)據設(she)備運行時(shi)間和(he)廠家(jia)建(jian)議周(zhou)期(通(tong)常(chang)為季度(du)或(huo)年度)執(zhi)行(xing)。

　　1.  工(gong)藝(yi)腔(qiang)室的深度(du)清潔(jie)：

　　頻(pin)率： 每(mei)運行200-400小(xiao)時(shi)或(huo)發現(xian)工藝(yi)結(jie)果(如去(qu)膠速率、均(jun)勻(yun)性(xing))下(xia)降(jiang)時(shi)進行。

　　方法(fa)： 拆(chai)卸(xie)腔室內(nei)可移動(dong)的部件(jian)，如電(dian)極(ji)板、載物臺(tai)、屏蔽罩等(deng)。使用專(zhuan)門(men)的研(yan)磨膏、砂紙(zhi)或(huo)等(deng)離(li)子清洗本身，去(qu)除(chu)附(fu)著在(zai)表面(mian)的聚合(he)物殘(can)留(liu)和(he)反(fan)應副產物。對(dui)於頑(wan)固(gu)汙(wu)漬(zi)，可采(cai)用(yong)化(hua)學(xue)浸(jin)泡(pao)(如使(shi)用N-甲基吡(bi)咯烷酮(tong)等(deng)專用清(qing)洗劑(ji)，需註意(yi)安全)後(hou)，再(zai)用去(qu)離(li)子水沖(chong)洗並(bing)烘幹。核心(xin)原(yuan)則： 避(bi)免使(shi)用硬物刮(gua)擦(ca)，防止(zhi)在(zai)腔室(shi)內(nei)壁和(he)電極(ji)上造成劃傷(shang)，這(zhe)些劃痕(hen)會成為顆粒汙(wu)染源(yuan)並(bing)影響(xiang)等(deng)離(li)子體(ti)均(jun)勻(yun)性(xing)。

　　2.  真空(kong)系統的維(wei)護(hu)：

　　機械泵：

　　泵油檢(jian)查(zha)與更(geng)換(huan)： 每(mei)月(yue)檢(jian)查機械泵油的顏(yan)色(se)和(he)油位(wei)。清(qing)澈(che)的琥珀色(se)為正(zheng)常，若變為深褐色(se)或(huo)乳白色(se)，表明油已(yi)汙(wu)染或(huo)進水，必須立(li)即(ji)更(geng)換(huan)。根(gen)據使(shi)用頻(pin)率，通(tong)常(chang)每(mei)運行500-1000小(xiao)時(shi)或(huo)每半年(nian)更(geng)換(huan)壹(yi)次泵油和(he)油過(guo)濾(lv)器。

　　排(pai)氣(qi)過(guo)濾(lv)器更(geng)換(huan)： 定期(qi)更(geng)換(huan)機(ji)械泵的排(pai)氣(qi)過(guo)濾(lv)器，防止(zhi)油氣(qi)和(he)顆粒(li)物反(fan)擴散(san)汙(wu)染環(huan)境或(huo)真空(kong)管路。

　　真空(kong)規管： 定期(qi)對電容(rong)式(shi)薄(bo)膜(mo)規(gui)(CMG)等(deng)進行校(xiao)準(zhun)，確保壓(ya)力讀數準(zhun)確。

　　檢漏(lou)： 使用(yong)氦(hai)質(zhi)譜檢漏(lou)儀(yi)對(dui)整(zheng)個(ge)真空(kong)系統進行(xing)周(zhou)期性(xing)檢(jian)漏(lou)，確保系統的氣密(mi)性(xing)。

　　3.  氣(qi)路(lu)系統的維(wei)護(hu)：

　　氣體(ti)過濾(lv)器： 更(geng)換(huan)氣(qi)源(yuan)入(ru)口處和(he)高(gao)頻(pin)電(dian)磁閥(fa)前(qian)的顆粒(li)過濾(lv)器濾(lv)芯(xin)，防止(zhi)雜(za)質(zhi)進(jin)入腔(qiang)室和(he)閥(fa)門(men)，通(tong)常(chang)每半年(nian)或(huo)每年壹(yi)次。

　　質(zhi)量(liang)流(liu)量(liang)控制器(MFC)： MFC是控制工藝(yi)氣體(ti)精確流(liu)量(liang)的關(guan)鍵(jian)部件(jian)。需(xu)定期(qi)通入標準(zhun)氣體(ti)進行(xing)校(xiao)準(zhun)，確保其精度(du)。若長(chang)期不(bu)使(shi)用(yong)，應保持(chi)其(qi)內(nei)部有(you)氮(dan)氣(qi)吹掃，防止(zhi)堵(du)塞(sai)。

　　4.  射(she)頻(pin)(RF)系統的檢查(zha)：

　　匹(pi)配器維(wei)護(hu)： 檢查(zha)匹(pi)配器內(nei)的可變電(dian)容(rong)的電極(ji)是否(fou)有(you)打火痕(hen)跡(ji)或(huo)汙(wu)染，並(bing)進行清(qing)潔(jie)。確保其馬達運轉正(zheng)常，能(neng)夠快(kuai)速、準(zhun)確地(di)實(shi)現(xian)阻(zu)抗匹(pi)配。

　　射(she)頻(pin)電(dian)纜與連(lian)接(jie)器： 檢查射(she)頻(pin)電(dian)纜及(ji)連接(jie)頭(tou)有(you)無(wu)松(song)動(dong)、老化(hua)或(huo)損壞(huai)跡(ji)象(xiang)，確保連接(jie)可靠，防止(zhi)能(neng)量(liang)反(fan)射(she)損壞(huai)射(she)頻(pin)發生(sheng)器。

　　三、 關(guan)鍵(jian)部件(jian)的專項(xiang)養護與(yu)更(geng)換(huan)

　　某(mou)些部(bu)件(jian)屬於耗(hao)材(cai)，其狀態(tai)直(zhi)接決(jue)定工(gong)藝質(zhi)量(liang)，需重點監控並(bing)及(ji)時(shi)更(geng)換(huan)。

　　1.  真空(kong)密(mi)封(feng)圈(quan)： 長(chang)期處於高(gao)溫、等(deng)離(li)子體(ti)輻(fu)照和(he)機械壓(ya)力下(xia)，密(mi)封(feng)圈(quan)會老化(hua)、失(shi)去(qu)彈性(xing)。建(jian)議(yi)每(mei)1-2年或(huo)發現(xian)真空(kong)度無(wu)法(fa)維(wei)持(chi)時(shi)，系統性(xing)更(geng)換(huan)所(suo)有(you)主(zhu)密(mi)封(feng)圈(quan)(腔門(men)、觀(guan)察(cha)窗(chuang)、電(dian)極(ji)饋入(ru)等(deng))。

　　2.  觀察(cha)窗(chuang)： 石(shi)英(ying)或(huo)氧化(hua)鋁觀察(cha)窗(chuang)在(zai)等(deng)離(li)子體(ti)轟擊下(xia)會逐漸變得模(mo)糊(hu)，影響(xiang)終(zhong)點檢測系統的精度(du)。當透光(guang)率明顯(xian)下(xia)降(jiang)時(shi)，需進行拋光或(huo)更(geng)換(huan)。

　　3.  泵油與(yu)過(guo)濾(lv)器： 嚴格(ge)遵(zun)循(xun)更(geng)換(huan)周(zhou)期，這(zhe)是真空(kong)系統健(jian)康(kang)運行的“血液(ye)”和(he)“腎臟”。

　　四(si)、 長(chang)期停(ting)用(yong)期(qi)間(jian)的養護(hu)

　　若設備(bei)需(xu)閑(xian)置(zhi)超(chao)過壹(yi)個月，必須進(jin)行(xing)封(feng)存處理。

　　1.  腔室(shi)保護： 對(dui)工(gong)藝腔(qiang)室進(jin)行(xing)清(qing)潔(jie)並(bing)幹燥後(hou)，充入幹燥的高(gao)純氮氣(qi)至略高(gao)於大氣(qi)壓(ya)，並(bing)關(guan)閉所有(you)閥(fa)門(men)，防止(zhi)空(kong)氣和(he)濕氣進(jin)入。

　　2.  真空(kong)系統保護： 關(guan)閉機械泵，排(pai)空(kong)泵油，並(bing)用新油沖(chong)洗後(hou)註入新油。或(huo)者，定期(qi)(如每(mei)兩周(zhou))啟(qi)動(dong)機械泵運行半(ban)小(xiao)時(shi)，以(yi)保持(chi)其(qi)潤滑和(he)密(mi)封(feng)。

　　3.  斷電與(yu)防塵(chen)： 斷開主(zhu)電(dian)源(yuan)(除(chu)必要支(zhi)持(chi)的子系統外(wai))，並(bing)用防塵(chen)罩將設備覆蓋。