VPS-RF05是(shi)壹(yi)款小(xiao)型實驗(yan)科研(yan)型真(zhen)空(kong)等離子(zi)清洗機，其(qi)原(yuan)理(li)是在(zai)真(zhen)空(kong)狀態下（約(yue)10~100pa），給氣體施(shi)加(jia)電場(chang)，氣(qi)體在(zai)電場(chang)提(ti)供(gong)的(de)能(neng)量下會(hui)由氣態轉(zhuan)變為(wei)等離子(zi)體(ti)狀態（也稱物質(zhi)的“第四態”），其(qi)中(zhong)含有(you)大量的電子(zi)、離子(zi)、光(guang)子(zi)和各(ge)類(lei)自由基(ji)等活性粒(li)子(zi)，比通(tong)常的化(hua)學(xue)反(fan)應所產(chan)生(sheng)的(de)活性粒(li)子(zi)種類(lei)更多(duo)、活性更強，更易(yi)於和所接(jie)觸的材(cai)料表(biao)面(mian)發生(sheng)反(fan)應(ying)。