VPS-RF05 小(xiao)型(xing)桌(zhuo)面(mian)型(xing)真空(kong)等(deng)離(li)子(zi)處理儀(yi)是(shi)壹(yi)款針(zhen)對實驗室需要(yao)專門開(kai)發的(de)小型(xing)臺(tai)式(shi)等(deng)離(li)子(zi)清(qing)洗機(ji)，處理室為圓(yuan)筒(tong)形(xing)石(shi)英玻璃(li)，處理器為電(dian)容(rong)耦合(he)外電極(ji)型(xing)，內部無(wu)電(dian)極。

產品簡介(jie)：VPS-RF05是(shi)壹(yi)款小(xiao)型桌(zhuo)面型真空(kong)等(deng)離(li)子(zi)處理儀(yi)，其(qi)原(yuan)理(li)是(shi)在真(zhen)空(kong)狀態(tai)下(xia)（約10~100pa），給(gei)氣(qi)體施(shi)加(jia)電場(chang)，氣(qi)體在電(dian)場(chang)提(ti)供的(de)能量(liang)下(xia)會由(you)氣(qi)態(tai)轉(zhuan)變(bian)為等(deng)離(li)子(zi)體狀態(tai)（也(ye)稱(cheng)物(wu)質的(de)“第四態(tai)"），其(qi)中含有大量(liang)的(de)電子(zi)、離(li)子(zi)、光(guang)子(zi)和(he)各類(lei)自由基等(deng)活(huo)性(xing)粒(li)子(zi)，比通(tong)常的(de)化學(xue)反應(ying)所(suo)產生的(de)活性(xing)粒(li)子(zi)種類(lei)更(geng)多(duo)、活(huo)性(xing)更(geng)強(qiang)，更(geng)易(yi)於和所(suo)接觸的(de)材料(liao)表面發生反應(ying)。通(tong)過(guo)利用(yong)這些高能粒子(zi)和(he)活性(xing)粒(li)子(zi)與(yu)材料(liao)表面發生物(wu)理(li)或(huo)化學的(de)反應(ying)，從(cong)而達(da)到(dao)改(gai)變(bian)材料(liao)表面性(xing)質的(de)目的(de)。

VPS-RF05 小型(xing)桌面型真空等(deng)離(li)子(zi)處理儀(yi)特(te)點(dian)：進口等(deng)離(li)子(zi)電(dian)源電路技術、放電結構，確(que)保等(deng)離(li)子(zi)體均(jun)勻(yun)分(fen)布

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產品參數：