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產品(pin)展示真(zhen)空等離子清(qing)洗(xi)機(ji)小(xiao)型實驗等離子清(qing)洗(xi)機(ji)VPS-QZ05石(shi)英(ying)真(zhen)空等離子處理儀(yi)
產品(pin)型(xing)號：
更(geng)新(xin)時間：2025-08-18
廠商(shang)性(xing)質：生產廠(chang)家(jia)
訪(fang) 問 量 ：363
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產品(pin)簡(jian)介
VPS-QZ05石(shi)英(ying)真(zhen)空等離子處理儀(yi)是壹(yi)款針對實驗室需要專門(men)開發(fa)的(de)小(xiao)型(xing)臺(tai)式等離子清(qing)洗(xi)機(ji)，處理室(shi)為(wei)圓筒(tong)形石(shi)英(ying)玻璃，處理器(qi)為(wei)電容(rong)耦合(he)外電(dian)極(ji)型，內(nei)部(bu)無電極(ji)。即放(fang)電(dian)能量從處理器(qi)外部(bu)施(shi)加，可以(yi)避免(mian)電極(ji)的(de)腐(fu)蝕(shi)和(he)反(fan)應(ying)物(wu)在(zai)極板沈積的(de)問(wen)題(ti)。
VPS-QZ05石(shi)英(ying)真(zhen)空等離子處理儀(yi)應用：PDMS鍵(jian)合(he)、引入特定官(guan)能團、等離子灰(hui)化、表(biao)面(mian)親(qin)疏水改(gai)性、提高(gao)粘接(jie)性
VPS-QZ05石(shi)英(ying)真(zhen)空等離子處理儀(yi)特點(dian)：處理過(guo)程中不(bu)會引(yin)入汙染物(wu)、操作簡單(dan)、適合(he)於研(yan)究院(yuan)、高(gao)校(xiao)、研(yan)發(fa)中(zhong)心(xin)使(shi)用
產品(pin)參(can)數
型(xing)號 | VPS-QZ05 |
頻(pin)率(lv) | 13. 56 MHz |
功(gong)率(lv) | 0-200W連續(xu)可調(tiao) |
腔(qiang)體(ti)材(cai)質 | 優質石(shi)英(ying) |
腔(qiang)體(ti)容(rong)積 | 5L |
腔體(ti)尺(chi)寸 | Φ150×290（D）mm |
氣(qi)體(ti)流(liu)量控制(zhi)器(qi) | MFC 質量流量控制(zhi)器(qi) |
氣(qi)路數量 | 2 路氣(qi)體(ti)，常用O2、Ar2、N2，H2、等（腐(fu)蝕(shi)性(xing)氣(qi)體(ti)需(xu)定制(zhi)） |
真(zhen)空測定(ding)系(xi)統 | 皮(pi)拉(la)尼真(zhen)空矽管(guan) |
極(ji)限真(zhen)空度 | 1Pa |
控(kong)制(zhi)方式 | PLC+4.3寸觸(chu)摸(mo)屏(ping) |
真(zhen)空泵(beng) | 油泵(beng)/幹泵(beng)（選(xuan)配） |
電源供(gong)應 | AC220V/50Hz |
外(wai)形尺(chi)寸 | 550mm(L)×450mm(W) ×500 mm(H) |
上(shang)壹(yi)個(ge)：PS-RF10 小(xiao)型科(ke)研(yan)型(xing)射頻(pin)真空等離子清(qing)洗(xi)機(ji)
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